纳米压来自痕仪主要用于兴坐友范兴先货微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。

• 中文名 纳米压痕仪
• 外文名 Nano Indentor
• 测量 薄膜材料的硬度与杨氏模量测试
• 参量 弹性功、塑性功、断裂韧性
• 包括 PVD、CVD、PECVD

仪器介绍

　　纳米压痕仪主要用于测端世组乡有儿搞损量纳米尺度的硬度与弹今史置协验素右体罗工性模量，可以用于研究或来自测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功360百科、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材绿水衡沙宪洲都明急宗料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微联环米民料要厂和县电子镀膜，保护性薄膜，还末社子职装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

主要应用

　　半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads);存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层);光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层);金属蒸镀层;防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具);药理学(药片、植入材料、生物组织);工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)等行业;

技术特点

　　1谁新械杂东检、完全符合ISO14577、ASTME2546

　　2、光学显微镜自动观察

　　3、独特的热漂来自移控制技术

　　4、可硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力-应变、蠕变性能等力学数据。

　　5、适时测量载荷大小

　　6、采用独立的载荷加载系统与高分辨率的电容深度传感器

　　7、快速的压电陶瓷驱动的载荷反馈系统

　　8、双标准校正触三执硫若末感:熔融石英与蓝宝石

技术参数

　　最大加载载荷:400 mN

　　载荷分辨率:30 nN

　　可实现的最小载荷:1.5 µN

　　位移分辨率:0.003 nm

　　可实现的最小位移:0.04 nm

　　可管察否实现的最大位移:250 360百科µm

　　热漂移:<0.05 nm/s(室温条件下)

　　DMA模式:20 Hz