真空计(Vacuum Gauge)，c真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。

• 中文名 真空计
• 外文名 Vacuum Gauge
• 又称 真空表
• 功能 测量真空度或气压的仪器

分类来自原理介绍

　　按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

　　利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力360百科学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

波尔登规(Bourdon)

　　如右图所示，细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。

波尔登规

　　这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。

薄膜电容规

　　如右图所示，在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。

薄膜电容规

　　这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

　　这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。

皮拉尼电阻规

　　也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理盐啊同工作的。

皮拉尼电阻规

　　如右图所示，由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给字满为静去表地可选企热丝加恒定的电流单评阻依概台夜压时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温类研散良信仍纪的读利度就不同，这导致师苦余热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推固谈司红知校就步茶月六算气压大小。

　　如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高复国测量的准确度。

　　这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。

　　由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定。

热电偶规

　　如右图所示，热电偶错规与皮拉尼电阻规基本原理一致，只是它不用测量热丝电项神影约新药年翻斯继阻的变化，而是用热书事水特东草打耐周治电偶直接测量热比的温度变化。

热电偶规

　　测量范围一般与在0.1Pa至1000Pa。

　　与皮拉尼电阻规一样，这种规也需要在不同的使用究气体下标定。

热阴极电离规

　　如右图所示，热阴极电离规中，由热阴极即灯丝发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，由收集极收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。

热阴极电离规

　　这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。

　　经改进后的热阴极电离规，Bayard础支孩包定鲁突原逐误-Alpert规，可以将测量历求菜矿下限降低至1.0E密节树审皇-09Pa。

　　由于不同气体在相同气压下的电离率不同，这种规在使用时也需要在不同气体下进行标定。

冷阴极电离规

　　如右图所示，冷阴极电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法进行气压测量，但与热阴极电离规不同的是，它是利用磁控放电电离气体分子产生离子。

冷阴极电离规

　　这种规的测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。

　两洋艺除　与热阴极电离规同样的原因，这种规在使用时需要在不船季时员美同气体下标定。

量程范围

　　在较高压力时(10~1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真美空计，薄膜计，弹簧管压力计等 。

　　在宁送双10~10Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。

　　在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。

　　表2 真空计的适用压力范围