ITO导电膜玻璃，即氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线，在高度净化的厂房环境中，利用平面磁控技术，在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。
产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。
ITO导电膜的主要参数有：表面电阻、表面电阻的均匀性、透光率、热稳定性、加热收缩率、加热捲曲等。其中光透过率主要与ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面电阻有关。在基底材料相同的情况下，ITO膜的表面电阻越小，ITO膜层的厚度越大，光透过率相应的会有一定程度的减小。
透明导电氧化膜TCO中，以掺Sn的In2O3(ITO)膜的透过率最高和导电性能最好，而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形，其中透光率达90%以上。ITO中其透光率和阻值分别由In2O3与SnO2之比例来控制，通常SnO2:In2O3=1:9。
基本介绍
- 中文名：ITO导电膜玻璃
- 外文名：ITO conductive film glass
- 又称：氧化铟锡透明导电膜玻璃
- 主要参数：表面电阻及均匀性、透光率等
- 属性：半导体器件
- 专业：电子/材料学
高阻抗ITO导电膜（PET-ITO）
高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要套用于移动通讯领域的触控萤幕生产。
产品参数：
面电阻：300～500 Ω/□
面电阻均匀性：MD≤±3%，TD≤±6%
ITO薄膜厚度：0.188±10%
线性度（MD）：≤1.5%
全光线透过率：≥86%
表面硬度（铅笔硬度）：≥3H
热稳定性：(R-R0)/R: ±20%
热收缩率：MD≤1.0%，TD≤0.8%
加热捲曲：≤10mm
低阻抗柔性ITO导电膜（PET-ITO）
适用于柔性电致变色器件、柔性薄膜太阳能电池、柔性EL发光器件的製备和生产。
薄膜厚度：0.175±10% mm
雾度：<2%
宽度：406/360±2 mm
粘附：100/100
捲曲：≤10 mm
透过率：≥ 80%
表面电阻：90±15 Ω/□
面电阻均匀性：<7%
热收缩：MD≤1.3，TD≤1.0
热稳定性：
高温：80oC,120hr ≤1.3
低温：-40oC,120hr ≤1.3
热循环：-30oC—80oC ≤1.3
热/湿度： 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3